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摘要
利用等离子增强化学气相沉积(PECVD)技术在316不锈钢基体表面制备不同掺氮量的a-C:H(N)薄膜。利用快速红外退火炉对a-C:H(N)薄膜进行退火处理,采用拉曼光谱研究了退火态薄膜的结构变化,使用微纳米力学综合测量系统对不同退火态薄膜的硬度进行了表征。结果表明,相对于a-C:H薄膜,低氮掺杂可以明显地提高沉积态薄膜中的sp~3含量,抑制其高温等温时的石墨化进程。但低氮掺杂增加不稳定碳原子数量,降低了薄膜石墨化的起始温度。随着薄膜中氮含量增加,退火态DLC薄膜硬度随退火温度的变化趋势减缓,氮掺杂改善了薄膜组织结构的动力学石墨化转变速率。
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单位材料学院; 华南理工大学; 广州今泰科技股份有限公司
