SiGe／Si异质结光电器件

作者：刘**; 叶志镇; 吴贵斌; 孙伟峰; 赵星; 赵炳辉

来源：材料导报, 2006, 20(01): 116-119.

DOI：10.3321/j.issn:1005-023X.2006.01.031

• SiGe／Si异质结
• 光电器件
• 光电集成 SiGe/Si heterostructures
• optoelectronic devices
• optoelectronic integrated circuits

SiGe／Si异质结光电器件及其光电集成(OEIC)是硅基光电研究的一个非常引人注目的领域。综述了SiGe／Si异质结材料的基本性质,SiGe／Si异质结光电器件的结构、性能、应用及其光电集成。重点介绍了SiGe／Si光电探测器及其与其他相关器件的集成。

• 单位
  硅材料国家重点实验室; 浙江大学