激光旋转切割石英管设备研制及其工艺研究

作者：金越越; 梁进智; 罗光华; 封芸; 马利; 王雪梅

来源：激光与红外, 2022, 52(04): 503-507.

• 激光切割
• 石英管
• 光学旋转切割系统

为了实现将密封石英管内器件取出的目的，设计研制了一套激光旋转切割设备。由于石英管内密封晶圆类易碎器件，为了不产生振动将石英管内器件取出，利用激光非接触切割原理，以石英管为中心设计光学旋转切割系统，实现360°旋转切割石英管，并分析试验数据，通过优化的试验数据，最终实现高效、无损伤的石英管切割技术。