氮化硅陶瓷中压注塑成型技术(MPIM)研究及进展

作者：李镔^*; 张伟儒; 韦中华; 王子诚; 陈波

来源：中国陶瓷工业, 2021, 28(01): 27-37.

DOI：10.13958/j.cnki.ztcg.2021.01.006

• 中压注塑成型技术
• 氮化硅轴承球
• 低缺陷排胶
• 致密度
• 力学性能

首次采用中压注塑成型技术(MPIM)制得性能优良的氮化硅轴承球。研究了粘结剂配方、注塑成型、低缺陷排胶、气氛压力烧结等工艺参数对氮化硅轴承球致密度、力学性能、表面与微观形貌的影响。结果表明,喂料固含量55.51%、注塑速率5 cm/s、注塑温度90℃、注塑实际压力75 bar、超临界CO2萃取+热脱脂两步法排胶等工艺过程有效控制了氮化硅坯体的缺陷,制得了生坯致密度58.7%、烧结密度3.26 g/cm3、烧结致密度99.4%、抗弯强度843 MPa、无缺陷的氮化硅轴承球。MPIM是未来注塑成型技术发展的重点方向,具有广泛的应用前景。

• 单位
  中材高新材料股份有限公司; 北京中材人工晶体研究院有限公司