正、背照射日盲型肖特基探测器

作者：储开慧; 许金通; 李向阳

来源：红外与激光工程, 2010, (06): 1085-1087.

• 肖特基探测器
• 日盲型
• 响应光谱 Schottky diodes
• Solar-blind
• Response spectrum

在金属有机化学汽相沉积(MOCVD)方法生长的i-Al0.45Ga0.55N/n-Al0.65Ga0.35N/AlN材料结构上,成功研制了零偏暗电流为10-13量级、峰值响应为0.02～0.03 AW-1的日盲型肖特基紫外探测器。对探测器正照射和背照射时的光谱特性的研究表明:正、背照射时器件的峰值响应大小变化不大;在短波方向,正照射时的器件由于界面层的存在,在峰值响应稍有回落后平滑响应,而背照射时的器件由于n层组分调制响应迅速下滑;在长波方向,正照射时器件在截止波长后的响应较大。

• 单位
  中国科学院上海技术物理研究所; 传感技术国家重点实验室