摘要

<正>随着人工智能和物联网技术的迅速发展,电子器件多功能化、微型化的需求日益高涨,具有高密度互连结构的三维封装技术可以很好地解决这些问题。在三维封装中芯片通过硅通孔、微凸点、C4焊点以及BGA焊点进行垂直堆叠互连。为了提升垂直互连的可靠性,三维封装中采用梯度焊点进行封装。通常将焊点按照工艺温度分成3个层级,第一、二、三级焊点的工艺温度分别约为300℃、200℃、150℃。