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摘要
为了提高利用倏逝波传感的光纤传感器的灵敏度问题，仿真并验证了一种基于高折射率镀膜的光纤传感器。首先两根光纤之间利用激光诱导波导自行成技术形成聚合物波导，并在波导表面镀上一层高折射率Ta2O5薄膜以增强波导表面倏逝波强度，从而增加传感器灵敏度。根据聚合物波导制备结果，使用COMSOL Multiphysics?软件对Ta2O5的厚度进行优化和仿真，并根据此仿真结果选取70,100和150 nm 3种厚度制备高折射率镀膜聚合物波导传感器。光谱测量结果表明，Ta2O5膜在100 nm厚度下，该传感器对罗丹明B水溶液可获得吸收光谱1×10-8 g/mL的检测极限。该传感器具有成本低、体积小、制作简单、灵敏度高的优点，在各个领域拥有广阔的应用前景。
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