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摘要
本文依据马普金属研究所对铝诱导晶化机制的理论基础,通过制备不同Al层厚度的Al/a-Si:H叠层样品的晶化结果来探究铝诱导氢化非晶硅的晶化机制。结果表明:随着Al层厚度增加,Al/a-Si:H叠层样品晶化得到的多晶硅晶粒尺寸增加,进一步实验验证了铝诱导非晶硅晶化过程发生在多晶铝晶界中。
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本文依据马普金属研究所对铝诱导晶化机制的理论基础,通过制备不同Al层厚度的Al/a-Si:H叠层样品的晶化结果来探究铝诱导氢化非晶硅的晶化机制。结果表明:随着Al层厚度增加,Al/a-Si:H叠层样品晶化得到的多晶硅晶粒尺寸增加,进一步实验验证了铝诱导非晶硅晶化过程发生在多晶铝晶界中。
