53 Gbit/s高速单模940 nm垂直腔面发射激光器

作者：徐汉阳; 田思聪; 韩赛一; 潘绍驰; MANSOOR Ahamed; 佟存柱; 王立军; BIMBERG Dieter

来源：发光学报, 2022, 43(07): 1114-1120.

DOI：10.37188/CJL.20220106

• 垂直腔面发射激光器
• 高速
• 单模

制备了不同氧化孔径的940 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)，选取氧化孔径为3,6,9μm的VCSEL进行了测试表征分析。氧化孔径为3,6,9μm的VCSEL的最高输出功率分别为2.92,6.79,10.49 mW，调制带宽分别为27.65,23.34,20.56 GHz。此外，氧化孔径为3μm的VCSEL在整个工作电流下都可实现单模工作，氧化孔径为6μm和9μm的VCSEL在较大电流下呈现少模和多模特性。最后，选取3μm氧化孔径的VCSEL进行数据传输测试，在非归零(NRZ)码下实现了传输速率53 Gbit/s。

• 单位
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 中国科学院大学; 发光学及应用国家重点实验室