开尔文探针力显微镜（KPFM）是一种以纳米级分辨率对材料表面进行电势测量的重要工具，由于其对材料表面电荷的敏感性，近年来在电介质电荷行为研究中获得了广泛应用。本文介绍了KPFM的原理，归纳了KPFM应用于电介质中电荷行为的最新研究进展，重点分析了电介质中表面、界面电荷的扩散、迁移机制，还对KPFM在无机材料、纳米复合材料、铁电材料等典型电介质中的应用研究进行了综述。
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