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摘要
本发明属于薄膜晶体管技术领域,公开了一种溶液法制备锆铝氧化物绝缘层薄膜及叠层结构的方法。所述方法包括如下步骤：将五水合硝酸锆和九水合硝酸铝溶于乙二醇单甲醚中,搅拌老化得到前驱体溶液；在ITO玻璃衬底上旋涂所得的前驱体溶液,然后在300～500℃退火处理1～2h,得到锆铝氧化物绝缘层薄膜。在所得锆铝氧化物绝缘层薄膜上通过磁控溅射镀圆形Al电极,得到MIM叠层结构。本发明提高绝缘薄膜的物理化学性能,如漏电流密度从6.71×10-5A/cm2降低为3.8×10-7A/cm2,禁带宽度从5.0eV提升为5.8eV,禁带宽度的增大将有利于提高击穿电压。
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