晶片传输机械臂的设计及有限元分析

作者：郭立刚; 祝福生; 黄鑫亮; 王文丽; 秦亚奇; 王勇威

来源：清洗世界, 2019, 35(07): 30-33.

• 晶片传输
• 机械臂
• 有限元静态分析

采用Solidworks软件对晶片传输机械臂进行设计建模,运用ANSYSWorkbench软件完成对机械臂的有限元静态分析。通过分析相关数据,论证了该结构的可靠性,并且满足设计精度要求,本文为晶片传输机械臂的设计提供了参考依据。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所