摘要

等离子清洗作为一种新型干法清洗其应用已经越来越广泛,容性耦合低压射频等离子清洗机对于钢材的清洗有着其特有优势。本文对传统清洗与等离子清洗做了比较,并以自研的容性耦合低压射频等离子清洗机为模型,从仿真以及实验角度介绍了等离子清洗的影响因素从而得到等离子清洗的最佳工艺。