氧化铟基透明导电薄膜的研究进展

作者：林剑荣; 杜永权; 梁瑞斌; 陈建文; 肖鹏^*

来源：材料研究与应用, 2022, 16(03): 353-361.

DOI：10.20038/j.cnki.mra.2022.000302

• 透明导电薄膜
• 掺杂氧化铟
• 磁控溅射
• 柔性

透明导电氧化物(TCO)薄膜因其兼具透明和导电的特性，被广泛应用于各个领域中。氧化铟(In2O3)基TCO薄膜，因其高透明度、低电阻率、高迁移率和良好的化学稳定性而备受关注。综述了In2O3基TCO薄膜的研究进展，介绍了TCO薄膜种类及其常见的制备方法，归纳分析了锡掺In2O3(ITO)、钼掺In2O3(IMO)、钨掺In2O3(IWO)、钛掺In2O3(InTiO)等几种典型的In2O3基TCO薄膜研究现状，并对TCO薄膜未来的发展趋势进行了总结和展望。

• 单位
  佛山科学技术学院; 电子信息工程学院