ITO薄膜性能、应用及其磁控溅射制备技术的研究

作者：吴晓飞; 郗雨林

来源：热加工工艺, 2013, (02): 88-90.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.2013.02.010

• ITO
• 薄膜
• 磁控溅射 ITO
• thin film
• magnetron sputtering depositing

研究了ITO薄膜的性能、应用以及磁控溅射制备技术,并对相关技术的发展趋势进行了探讨。

• 单位
  中国船舶重工集团公司第七二五研究所