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摘要
本发明涉及一种基于热反射成像技术的瞬态工况热电特性表征系统和方法,该系统包括：动态电参数测试系统和热反射成像系统,其中,动态电参数测试系统用于为被测器件提供多种瞬态工况,并实时采集被测器件在不同瞬态工况下电参数；热反射成像系统根据材料在不同温度下表面反射率不同,实时采集被测器件在不同瞬态工况下的表面反射率,得到不同瞬态工况下被测器件表面温度分布情况。本发明解决了硅和(超)宽禁带半导体功率器件瞬态工况下同步热电特性表征方法缺乏的问题,为揭示瞬态工况下硅和(超)宽禁带半导体功率器件在实际工作过程中的热电耦合特性及机理提供更多的过程热特性细节和事实依据。
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