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摘要
针对直线超声电机的非线性问题,建立了直线超声电机的非线性模型,并提出了一种非线性补偿PID算法,对直线超声电机进行定位控制。首先建立直线超声电机的等效电路模型,获得PWM波占空比与驱动电压的关系,同时对驱动电压峰峰值与平均速度进行多项式拟合,这两部分共同构成直线超声电机的非线性模型。然后对直线超声电机模型的非线性部分进行求逆补偿,结合分段PID算法,对直线超声电机进行高精度定位控制。仿真及实验结果证明了该方法的有效性,定位误差小于1μm。
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单位自动化学院; 北京航空航天大学
