微纳结构功能性雕塑薄膜

作者：江绍基

来源：激光与光电子学进展, 2009, (07): 23-27.

• 雕塑薄膜
• 倾斜角沉积
• 预结构
• 三维光子晶体 sculptured thin film
• GLAD
• pre-structure
• three-dimensional photonic crystal

微纳结构雕塑薄膜是在低温环境下采用倾斜角沉积技术再辅以基片的运动而制备得的各向异性功能性薄膜。由于沉积过程中的自阴影效应使得雕塑薄膜中存在很多孔洞,而且微观结构复杂多样,从而表现出很多新颖的光学特性,因此可作为微纳光电子器件实现工业应用。

• 单位
  光电材料与技术国家重点实验室; 中山大学