水溶液显影环氧乙烷光刻胶的显影条件及机理探索

作者：李岚慧; 窦盈莹; 水玲玲; 李发宏; Robert A.HAYES; 周国富

来源：华南师范大学学报(自然科学版), 2017, 49(01): 40-45.

DOI：10.6054/j.jscnun.2017052

• 电润湿
• 光刻胶
• 水性显影液

电润湿器件的传统工艺中利用SU-8光刻胶材料制备像素墙,从而得到最小的显示单元——像素.文中通过实验发现另一种环氧树脂光刻胶(KMPR胶)可以代替传统的SU-8光刻胶用来制备电润湿器件的像素墙.KMPR胶既可以采用有机溶剂进行显影,也可以采用碱性显影液,更利于环保.通过对比有机溶剂(PGMEA)和碱性显影液(KOH溶液、四甲基氢氧化铵TMAH溶液)对KMPR光刻胶的显影效果,得到最佳水溶液显影液——氢氧化钾(KOH)显影液及其显影的较佳浓度范围,研究了温度对KMPR光刻胶显影的影响,进而对显影机理进行了探讨.

• 单位
  华南师范大学; 深圳市国华光电研究院; 华南先进光电子研究院; 深圳市国华光电科技有限公司