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摘要
涡轮分子泵广泛应用于半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域，是获得超高真空环境的核心机械设备。本文从一体成型的涡轮转子的可加工性出发，提出了一种涡轮叶片的结构改进方案，并分别使用二维模型和三维模型对改进前后的结构进行性能评估：在相同几何结构下，二维模型计算单级涡轮叶列的何氏系数略高于三维模型，压缩比略低于三维模型。同时，改进模型在解决涡轮叶片叶根可加工性的同时，其最大何氏系数和最大压缩比均有一定程度的提升。
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单位东北大学; 自动化学院
