在聚酰亚胺衬底上低温制备超薄热敏铂膜的研究

作者：余荣; 陈学康; 曹生珠; 杨建平; 吴敢; 王瑞; 尚凯文

来源：真空与低温, 2008, (01): 23-26.

• 脉冲激光沉积
• 聚酰亚胺衬底
• 铂热敏薄膜
• 电阻温度系数

通过在聚合物衬底上制备热敏薄膜可以实现非平、屈曲物体表面温度的实时监控和测量。利用脉冲激光沉积技术在聚酰亚胺衬底上低温(250℃左右)制备了超薄铂热敏薄膜,其室温下的电阻温度系数为1.01×10-3/K。通过增加ZnO过渡层,可使铂薄膜的电阻温度系数增大为1.55×10-3/K。