基于表面修饰多孔二氧化钛的pH敏感膜

作者：施肖锋; 侯晓雅; 刘雷; 张婕^*

来源：微纳电子技术, 2022, 59(06): 522-528.

DOI：10.13250/j.cnki.wndz.2022.06.004

• 多孔二氧化钛
• 敏感膜
• 柔性材料
• 表面修饰
• pH检测

柔性、小型化pH检测在医药、工业、食品和环保等领域有着良好的应用前景。研究了基于表面修饰多孔二氧化钛的延伸场效应晶体管的pH敏感性。通过硅烷偶联剂及其后处理，对二氧化钛表面进行修饰，得到pH敏感官能团。通过旋涂法将敏感材料旋涂到基底上，并采用煅烧模板法制备多孔二氧化钛。研究结果表明多孔二氧化钛具有良好的稳定性和较宽的pH响应范围(pH=2～12)。相对于表面不处理的二氧化钛，表面修饰氨基和羧基后的二氧化钛pH敏感性分别提升了34.21%和51.41%,从而打破了传统pH检测生产成本高和难以大面积生产等缺点，在与柔性可穿戴电子电路集成和食品包装智能检测等多个新兴领域有着很好的应用前景。

• 单位
  中国科学院; 江南大学