针对电子探针微区定量分析轻元素及超轻元素的难点进行了总结,结合岛津电子探针EPMA的仪器特点,给出岛津EPMA在测试轻元素及超轻元素方面提供的解决方案和技术优势,并解释了设计的意义所在。以绿柱石和铍方钠石矿物为测试超轻元素Be的实际案例,给出了测试思路和分析方法,并强调了测试过程中的一些注意事项。