无人飞行器电传操纵系统的MEMS加速度计零偏特性研究

作者：钟伦超; 王晓浩; 钟磊; 刘洋; 尹君; 鲁信琼; 张秘

来源：电子测量技术, 2018, 41(09): 41-45.

DOI：10.19651/j.cnki.emt.0180011

• MEMS加速度计
• 机械零位
• 零偏
• 最小二乘法

零偏是研究MEMS加速度计的重要性能指标之一。通过对给定的加速度计进行大量实验得出其零偏的随机误差特性、温度特性、大过载环境下的变化规律,解算出MEMS加速度计的零偏、零偏稳定性、零偏重复性,得出该加速度计具有较好的稳定性能,为零偏补偿提供保障。建立零偏温度模型,在不同温度下进行零偏温度补偿实验,通过最小二乘法拟合得到MEMS加速度计的温度标度因数和温度零偏。实验结果表明,该补偿方法操作简便,能够有效补偿温度引起的MEMS加速度计测量误差,具有较强的工程使用价值。补偿后进行大过载环境下的实验研究,结果表明MEMS惯性器件重新稳定的时间在12s之间,大过载环境对MEMS惯性器件零偏影响很小,再次验证了该补偿方法的可行性。

• 单位
  清华大学深圳研究生院; 西南科技大学