远程氦质谱检漏探头装置的研制

作者:贺华艳; 宋洪*; 王广源; 聂小军; 刘佳明; 康玲
来源:真空科学与技术学报, 2020, 40(02): 128-131.
DOI:10.13922/j.cnki.cjovst.2020.02.04

摘要

检漏是真空获得的一个重要步骤,对于危及人员安全的高危环境,或者结构复杂而不能停机的情况,无法按照目前常规做法逐个漏孔实施检漏。通过深入研究氦质谱检漏的方法,基于PLC设计远程真空检漏探头装置,实现全程摄像头实时监控的远程在线270°范围内喷吹检漏和正压吸枪检漏。将试验结果与手动检测比较,表明该装置能够准确、有效定性检测漏点位置范围及漏率,为真空系统远程在线智能技术提供支持,减轻人工劳动强度及保障人身安全具有十分重要的实用价值。

  • 单位
    散裂中子源科学中心

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