Ag/SiO_2复合薄膜的表面等离子体共振吸收研究

作者：李哲; 赵亚丽; 鞠军燕

来源：应用化工, 2013, (12): 2188-2190.

DOI：10.16581/j.cnki.issn1671-3206.2013.12.001

• 复合薄膜
• 退火
• 共振吸收 composite films
• thermal treatment
• resonance absorption

用射频磁控溅射法制备了Ag/SiO2复合薄膜,通过改变沉积顺序和退火时间,制备不同形貌的金属颗粒复合薄膜,分析了颗粒形貌对表面等离子体共振吸收特性的影响。结果表明,当SiO2纳米颗粒镶嵌在Ag膜中,同Ag纳米颗粒镶嵌在SiO2中一样,也同样产生明显的表面等离子体共振吸收。

• 单位
  中国电子科技集团公司第三十三研究所