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摘要
本发明公开了一种基于布拉格光纤光栅的高分辨率悬臂式微力传感器。该传感器包括传感器基底、传感器尖端和敏感元件,传感器基底包括固定端和悬臂梁,其固定端开有通孔,与夹具相连用于固定传感器,传感器的悬臂梁悬空,且末端与样品接触产生力的作用。传感器尖端固定于传感器基底的上表面。传感器的敏感元件为布拉格光纤光栅。以悬臂梁结构作为传感器的构型,不仅可以测量接触力,还能作为制动臂或固定臂参与到微纳操作中,可以满足系统对接触力反馈的需求,为微纳操作领域提供一种具有高分辨率和高集成化接触力反馈的有力手段。
- 单位
