CVD单晶金刚石X射线位置探测器研制

作者:刘晓晨; 李贞杰*; 王炳杰; 常广才; 刘鹏; 刘瑶光; 姜龙; 安晓明; 李义锋; 葛新岗
来源:核电子学与探测技术, 2022, 42(02): 355-359.

摘要

为满足高亮度同步辐射X射线的监测需求,采用微波等离子体化学气相沉积技术制备出CVD单晶金刚石材料,制作了一种四象限型X射线位置探测器(XBPM)。实验测试结果表明:探测器暗电流小于0.2 pA;光强强度的测量精度为0.3%,位置分辨能力可以达到400nm。该探测器能满足同步辐射X射线光束诊断的测量要求。