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摘要
用射频溅射法制备了FeZrBCu软磁合金薄膜 .研究了不同溅射功率对FeZrBCu薄膜软磁特性和巨磁阻抗效应的影响 .用电子探针显微镜测量发现 ,当溅射功率为 2 4 0W时 ,薄膜样品中Fe的原子含量为 87 32 % ,Cu的原子含量为 2 9% .这种样品的矫顽力最小 ,为 6 8A m ,饱和磁化强度约为 1 11× 10 5A m ,软磁性能最佳 ,巨磁阻抗效应最大 ,溅态膜在 13MHz最大巨磁阻抗比纵向为 17% ,横向为 11% .重点分析了阻抗的电阻、电感分量及横向有效磁导率随频率的变化 ,得到在低频下主要是磁电感效应 ,此时磁导率对电感分量的变化起重要作用 .
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