充氟油器件检漏设备的研制

作者：吕桂强; 陈旭; 荣维刚; 金奇计

来源：真空, 2010, (04): 87-90.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2010.04.023

• 氟油器件
• 质谱检漏
• 累积 sealed devices with perfluorotributylamine
• mass spectrometer leak detection
• accumulation

针对充氟油器件泄漏介质为氟油的检漏需求,研制了一套四极质谱计检漏设备,该设备由四极质谱计和取样系统组成,使用累积法对充氟油器件进行检漏。文中介绍了系统的组成与原理,设备的校准,给出并讨论了实验结果。实验结果及用户的实际使用情况表明:充氟油器件检漏设备方法可行、性能可靠,相对误差在10%以内。

• 单位
  清华大学