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摘要
本发明公开了一种基于贝叶斯反演算建模的微纳米探头动态特性补偿方法,其特征是通过微纳米探头系统的阶跃响应实测数据,采用自适应模型辨识法得到探头系统的传递函数模型；根据系统传递函数模型参数推导确定贝叶斯反演算补偿模型的观测回归矩阵和状态转移矩阵,获得动态补偿模型的状态方程和观测方程；采用参考先验分析法确定状态向量的初始先验分布,利用贝叶斯递推算法估计状态向量实时分布参数,得到补偿后的实时输入待估计量。本发明用于实现微纳米探头系统的动态特性补偿,能够快速有效地减小探头阶跃输出的超调量,缩短探头响应时间,以低成本改善微纳米探头系统的动态特性。
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