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摘要
给出了悬臂梁阀单腔压电泵的理论分析,根据压电振子与流体耦合的理论,建立了压电泵系统的动态模型。分析了流体质量、输出压力和系统阻尼对压电泵最佳工作频率的影响,认为减小腔体高度可以提高压电泵的最佳工作频率,提高压电泵的稳定性。通过分析压电振子结构参数对变形量的影响规律,确定了振子的最佳结构参数,认为压电陶瓷层与金属基板厚度比取0.45~0.55,直径比取0.8~0.9最佳。研究了压电泵出流形式对压电泵输出能力的影响,认为轴向出流有利于提高压电泵的输出能力。
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单位吉林省产品质量监督检验院; 吉林化工学院; 吉林大学
