摘要

为了实现光学自由曲面的高效精密加工,开发了一种基于音圈电机驱动的快刀伺服机构。为降低面形误差,对快刀伺服控制系统展开了研究。建立快刀伺服和音圈电机的数学模型和分析PMAC控制器和驱动器的控制算法,从而建立了快刀控制系统的仿真模型。为了减小快刀控制系统的跟踪误差,提高控制性能,提出了BP神经网络整定控制参数的方法。并对参数整定后的控制系统进行仿真和实验验证,跟踪误差为2.8μm,有效提高了快刀伺服控制系统的性能,使得满足加工的精度要求。