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摘要
为了满足射频器件的高频率、高功率和微小型化的需求,该文采用有限元分析软件COMSOL Multiphysics设计了一个谐振频率为3.455 GHz的牢固安装型谐振器(SMR)二维模型,研究了不同电极面积(200μm2、150μm2、100μm2、50μm2、25μm2)对谐振器横向寄生谐振的影响,并对比了上电极变化和上、下电极同时变化对器件横向寄生谐振程度的影响。结果表明,器件在谐振点(3.455 GHz)附近的横向寄生谐振随电极面积的减小而增加,当电极面积为25μm2时,器件的横向寄生谐振现象最显著;当电极面积的变化量一定时,同时改变上、下电极面积的横向寄生谐振大于只改变上电极面积产生的横向寄生谐振。
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单位电子薄膜与集成器件国家重点实验室; 电子科技大学
