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摘要
本文在多弧离子镀设备上使用CrSi靶与Cr靶在硬质合金YG6基体上制备不同Si含量的CrSiN硬质涂层。采用扫描电子显微镜(SEM)、金相显微镜(OM)及X射线衍射仪(XRD)对CrSiN涂层样品的组织形貌及物相结构进行表征;采用维氏硬度计、CSM微纳米力学性能测试系统、球盘式摩擦磨损仪对CrSiN涂层样品的力学性能进行表征。研究结果表明:采用相同工艺参数制备CrSiN涂层,随着Si含量的增加,涂层表面大颗粒的尺寸及数量增加,涂层的硬度及膜基结合力呈现先增大后减小的趋势,在Si含量为10%时HV0.01达到3000为最大,在Si含量为8.8%时膜基结合力达到16.1N为最大:在载荷为1N时,随着Si含量的增加,CrSiN与ADCl2小球对磨后稳态摩擦系数先降低后增大,Si含量为10.2%时摩擦系数最小约为0.15,其中磨损形式主要考虑为粘着磨损及氧化磨损。
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