副词"尤其"是由副词"尤"和指示代词"其"经常共现连用虚化而成的。副词"尤其"萌芽于唐五代,形成于宋元,完全成熟于清代。造成副词"尤其"词汇化的原因包括节奏的双音化、表述的程度化和指称的虚无化。"尤其"一词的词汇化过程伴随着语法化,存在着语义脱落的现象。