表面等离子体超衍射光学光刻

作者：王长涛; 赵泽宇; 高平; 罗云飞; 罗先刚

来源：科学通报, 2016, 61(6): 585-599.

DOI：10.1360/N972015-01038

• 表面等离子体
• 光学光刻
• 超分辨
• 衍射极限

由于光波衍射特性,传统光学光刻面临分辨力衍射极限限制,成为传统光学光刻技术发展的原理性障碍.表面等离子体(surface plasmon,SP)是束缚在金属介质界面上的自由电子密度波,具有突破衍射极限传输、汇聚和成像的独特性能.近年来,通过研究和利用SP超衍射光学特性,科研人员提出和建立了基于SP的纳米干涉光刻、成像光刻、直写光刻等方法,在紫外光源和单次曝光条件下,获得了突破衍射极限的光学光刻分辨力.目前,基于SP成像结构,实验中获得了22 nm(～1/17波长)最高SP成像光刻线宽分辨力水平.SP将为发展高分辨、低成本、高效、大面积纳米光学光刻技术提供重要方法和技术途径.本文系统综述了SP光学光刻技术研究发展情况,总结和分析了技术发展现状、存在问题,并对其发展趋势和前景进行了展望.

• 单位
  微细加工光学技术国家重点实验室; 中国科学院光电技术研究所