使用Agilent公司G200微/纳米压痕仪对多种微纳米覆盖层材料的力学性能进行了测量。结果表明,通过连续刚度法测量微纳米涂层材料,可以获得涂层硬度和弹性模量,并能得到涂层硬度或弹性模量随厚度的变化规律;通过试验也可以看到,纳米压痕法测量膜材的力学性能存在明显的表面效应;基材对膜材的力学性能没有影响;膜材厚度越大,同一深度测得的膜材的弹性模量越高。
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