Al2O3对CaO-R2O-SiO2/ZrO2基LTCC材料结构性能的影响

作者：罗建; 钟朝位; 张旭; 崔毓仁; 王乔升

来源：电子元件与材料, 2014, 33(03): 20-23.

• 低温共烧陶瓷
• ZrO2
• Al2O3
• 高温熔融法
• 玻璃/陶瓷复合材料
• 电子封装材料

采用高温熔融法在1 350℃制备了CaO-R2O-SiO2玻璃粉料,系统研究了Al2O3的添加量对CaO-R2O-SiO2/ZrO2基LTCC玻璃/陶瓷材料结构与性能的影响规律。研究结果表明,适量添加Al2O3可促进主晶相生长,提高材料结构稳定性,使其具有良好的力学电学性能。当Al2O3添加质量分数达7.5%时,850℃下可制得抗弯强度为183 MPa、相对介电常数为7.19、介电损耗为0.22%、电阻率>5×1 013?·cm的CaO-R2O-SiO2/ZrO2基LTCC玻璃/陶瓷材料。

• 单位
  电子科技大学; 电子薄膜与集成器件国家重点实验室