摘要

为解决现有模拟等离子体发生电源效率低、开关管损耗高、动态响应慢及无法跟踪等离子体发生器变化等问题,该文设计了一种基于TMS320F280049的等离子体谐振电源,采用前级桥式整流,后级移相全桥接谐振升压变压器输出的电路拓扑,并设计数字式峰值电流控制;开关管采用PSPWM(phase-shift PWM)-PFM的混合控制策略,以实现软开关减小开关损耗,并追踪等离子体发生器谐振频率变化,提高电源效率及功率因数。研制样机一台,具有较好的电源效率及动态响应性能,产生等离子体射流,表明该设计具有实用价值。