各种镀层厚度不同图形双面电镀的可行性研究

作者：陈苏伟

来源：电子工业专用设备, 2019, 48(02): 13-36.

• 晶圆电镀
• 电流密度
• 镀层厚度

根据晶圆电镀原理,建立简化的晶圆双面电镀槽模型,分析了改变阴阳极间距对电流密度的影响,探索了各种镀层厚度不同图形双面电镀的可行性。

• 单位
  中国电子科技集团公司第四十五研究所