透射电子显微镜纳米束电子衍射技术是用于表征材料物相的一种手段,对于尺寸较小的纳米颗粒进行结构分析具有一定的优势。本文详细叙述了纳米束电子衍射的基本原理及操作步骤,并以TalosF200X场发射透射电镜对金纳米颗粒同时做的选区电子衍射和纳米束电子衍射为例,说明纳米束电子衍射技术更适用于尺寸较小的单颗纳米颗粒的物相分析。