LICVD法制备纳米Si_3N_4粒子及红外光谱特性

作者：王锐; 李道火; 高峰; 何晓雄

来源：浙江大学学报(理学版), 2007, (03): 290-293+298.

• 激光诱导化学气相沉积
• 双光束激励
• 氮化硅
• 红外吸收光谱 laser induced chemical vapor deposition
• double beam optical stimulation
• silicon nitride
• infrared absorption spectra

采用激光诱导化学气相沉积法制备出超细(7~15 nm)、理想化学剂量(N/Si=1.314)、无团聚的非晶纳米氮化硅粉体.为了提高粉体的纯度,在传统激光诱导化学气相沉积装置中加一束正交的紫外光束,以促进NH3分子光解,从而减少游离硅的存在,提高N/Si原子数比.观察到了红外吸收光谱中的“蓝移”和“宽化”现象,并认为这些现象是由表面效应和量子尺寸效应造成的.同时,红外吸收光谱的反常现象也验证了粉体的纳米特性.

• 单位
  中国科学院; 合肥工业大学