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摘要
本发明公开了一种气敏探测模块、制造方法及系统,该气敏探测模块,包括半导体基底,在所述半导体基底上集成有若干个气敏传感器阵列单元和外部电路；所述外部电路,用于对外部电压进行分压；所述气敏传感器阵列单元均包括电极阵列和气体探测薄膜阵列；所述气体探测薄膜阵列用于探测环境中的气体种类和浓度；所述电极阵列和所述外部电路相连接,所述气体探测薄膜阵列覆盖在电极阵列上,当气体探测薄膜阵列在遇到敏感气体时,电极阵列用于调整气体探测薄膜阵列的薄膜电阻。通过将气体探测薄膜阵列覆盖在电极阵列上,当气体探测薄膜阵列在遇到敏感气体时,在电极阵列的作用下能够维持薄膜电阻不会发生改变,从而提高探测的精度以及抗干扰能力。
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