Mg/B多层膜退火法中不同制备条件对MgB_2超导薄膜性质的影响

作者：刘亮; 马小柏; 聂瑞娟; 姚丹; 王福仁

来源：Acta Physica Sinica, 2009, (11): 7966-7971.

• MgB2超导薄膜
• 电子束蒸发
• 超导成相 MgB_2 superconducting films
• e-beam evaporation
• superconducting phase formation

用Mg/B多层膜退火的方法制备了一系列MgB2超导薄膜,研究了退火温度、退火时间和薄膜厚度对于MgB2薄膜性质的影响。厚度为250nm的Mg/B多层膜经400℃低温退火后已经生成超导相,此厚度薄膜750℃下退火20—30min实现最佳超导转变温度(Tc)。前驱膜分层厚度相同时,随着薄膜厚度减小MgB2薄膜Tc明显降低,而且较薄的膜Tc受退火温度影响更加明显。通过减小Mg/B多层膜分层厚度,制备的20nm厚MgB2超导薄膜在31K左右出现超导转变。

• 单位
  物理学院; 人工微结构和介观物理国家重点实验室; 中国人民解放军空军航空大学; 北京大学