结型栅-漏功率器件

作者：毛维; 高北鸾; 杨翠; 马佩军; 张金风; 郑雪峰; 王冲; 张进成; 马晓华; 郝跃

来源：2020-07-28, 中国, ZL202010735308.6.

本发明公开了一种结型栅-漏功率器件,主要解决现有功率开关器件存在阈值电压低和实现高击穿电压时工艺复杂的问题,其包括：衬底(1)、过渡层(2)、势垒层(3)、栅槽(4)、漏槽(5)、P型层(6)、栅柱(7)、N型漏柱(8)、源极(11)、欧姆接触(12)、台面(14)、栅极(15)和钝化层(16)。N型漏柱内部设有P型排柱(81)；栅柱内部设有N型排柱(9),其左侧的势垒层内与N型漏柱右侧的势垒层内均设有阵列孔(10)；N型漏柱和欧姆接触的上方设有漏极(13)；钝化层上部设有复合板(17)；钝化层和复合板的外围设有保护层(18)。本发明工艺简单、正向阻断与反向阻断好,阈值电压高,可作为开关器件。

• 单位
  西安电子科技大学