激光位移传感器在物体表面形状测量中的应用

作者：朱万彬

来源：光机电信息, 2010, (10): 70-72.

• 形状测量
• 激光位移传感器 super-resolution
• image processing
• maximum a posteriori

激光位移传感器对位移的测量不仅是非接触式的测量方式,而且具有较高的精度,具有广泛的应用。本文研究了一种利用激光位移传感器测量工件上点的二维坐标,从而实现物体形状的高精度测量。通过一维电位移平台带动激光位移传感器扫描物体的表面,然后对测量的数据进行处理,进而得到物体的表面形貌。实验中采用的位移传感器分辨率为0.3μm,一维电位移平台重复定位精度高于2μm。

• 单位
  应用光学国家重点实验室