阵列化微镜设计可以实现微镜的高频工作。本文采用将驱动器隐藏在六边形镜面下方的设计方案来实现微镜阵列单元的制备，减小了微镜尺寸。在镜面内部引入了柔性结构匀散应力，降低微镜应力断裂风险，提高了微镜的可靠性，采用六边形密排的方式可以实现大于90%的占空比。所设计的微镜可以实现倾斜、偏转和活塞3种工作自由度，工作频率达到了23 000 Hz以上，共振偏转角度可以达到6.5°。对比传统的微镜阵列设计，本文设计提高了空间利用率和致动效率。
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