纳米定位系统中广泛采用的压电驱动器因存在非线性、多映射的迟滞特性而严重影响了纳米定位系统的定位精度.为消除迟滞对定位精度的影响,将其视为干扰,设计不基于迟滞及定位系统精确数学模型的自抗扰控制算法,利用扩张状态观测器实时估计迟滞,进而补偿其对定位精度的影响,获得了良好的定化系统控制仿真效果.仿真结果表明,自抗扰控制器能够仃效消除迟滞、提高纳米定位系统的定位精度.
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