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摘要
人工智能技术的快速发展对硬件算力提出了更高的需求，然而传统的微电子处理器芯片面临带宽、功耗、速度方面的物理瓶颈，因此近年来基于集成光子技术的新型光学计算范式引起了广泛关注。本文以光电混合计算架构实现卷积神经网络运算为背景，对用于3×3矩阵计算的集成马赫曾德干涉（MZI）阵列进行设计。通过对单个MZI和集成MZI阵列进行链路仿真，验证了2×2 MZI的输入-输出关系，以及链路中单个MZI的驱动电压与探测器输出的关系，并对设计的芯片进行流片、封装与测试分析，本论文的研究工作为下一步实现MZI网络结构的相位调制和光计算提供基础。
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